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Exhibit 21.1
SUBSIDIARIES OF THE REGISTRANT
             
 
    1.     Intevac Photonics, Inc.
 
           
 
    2.     Lotus Technologies, Inc. – Santa Clara, California
 
           
 
    3.     IRPC, Inc. – Santa Clara, California
 
           
 
    4.     Intevac Foreign Sales Corporation – Barbados
 
           
 
    5.     Intevac Asia Private Limited – Singapore
 
           
 
    6.     Intevac Malaysia Sdn Bhd – Malaysia
 
           
 
    7.     Intevac Limited – Hong Kong
 
           
 
    8.     Intevac (Shenzhen) Co. Ltd – China
 
           
 
    9.     IVAC Co. Ltd – Korea
 
           
 
    10.     Intevac Japan Kabushiki Kaisha (KK) – Japan